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美國政府1.5億美元入股xLight,押注EUV光源革命
2nm工藝志在必得 日本三大EUV光刻膠巨頭巨資擴產
三星加購兩臺High NA EUV光刻機,增強2nm代工工藝
三星和韓國掩模制造商S&S Tech共同申請EUV薄膜專利
瞄準Intel 14A工藝,消息稱英特爾加購兩臺High NA EUV光刻機
俄羅斯公布EUV光刻機路線圖,采用“非主流”技術路徑
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臺積電重磅調整:老舊8英寸晶圓廠轉產EUV掩模保護膜
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