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IBM攜手東京電子開發出3D芯片堆疊新技術

2022-07-15 來源:互聯網
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關鍵詞: IBM 東京電子 3D芯片

根據外媒報導,IBM與日本半導體設備大廠東京電子于近日宣布,在3D芯片堆疊方面獲得了新得技術突破,成功運用了一種新技術將3D芯片堆疊技術用于的12 吋晶圓上。由于芯片堆疊目前僅用于高階半導體產品,例如高帶寬內存(HBM) 的生產。不過,在IBM 與東京電子提出新的技術之后,有機會擴大3D芯片堆疊技術的應用。



據報導稱,3D芯片堆疊技術在當前被視為延續摩爾定律(Moore\'s Law) 的利器之一,這使得不少頭部的半導體企業都在進行努力,期望將評價芯片制造技術的指標由“每單位面積下的晶體管數量”,轉變為“每單位體積下的晶體管數量”。而與一般平面結構的芯片相較,3D芯片堆疊允許多層堆疊,而硅通孔封裝(TSV) 就是3D芯片堆疊技術當中的關鍵。


IBM 與東京電子新開發的技術,本質上是一種將硅芯片連接在一起的新方法。傳統的芯片堆疊需要通過硅通孔技術來實現,這可以使得電力向上流入堆疊層,并使兩層串聯執行工作。但是,這需要削減堆疊層的背面,以露出TSV 空間以提供另一層堆疊層透過TSV 來連結。只是,堆疊層中的厚度非常薄,通常僅小于100 微米。這就意味著它們非常的脆弱,所以他們當中需要一個載體來支撐。


通常這些載體芯片由玻璃制成。所以,借助載體與晶圓鍵合,以確保它可以在生產過程中不受損壞。完成生產后,使用紫外鐳射去除載體。在某些情況下,也可以繼續使用載體,但將其進行層與層分離需要物理的機械力來幫助,這對于晶圓的完整性可能會造成風險。


而IBM 與東京電子新開發的技術,將使用紅外線鐳射來進行層與層分離,進一步剝離兩個對硅通孔的芯片,將能有效的降低破壞晶片完整性的風險。


另外,新技術也將允許在不使用玻璃載體的情況下堆疊兩個硅芯片。相反,制造商可以跳過這一步,直接進入硅晶圓跟晶圓連接堆疊的步驟。IBM 表示,該技術除了不再需要這個額外步驟來簡化流程之外,還有其他優勢。例如,它將有助于消除工具兼容性的問題,及降低缺陷的風險之外,還允許對薄晶圓進行線上測試。IBM 指出,這些優勢將使先進的小晶片結構生產變為簡易,也使得其技術可以廣泛的被應用。


報導強調、自2018 年以來,IBM 和東京電子在該項技術的研究已經有一段時間了。有鑒于晶圓制造的發展方向,這可能會是該產業的一個關鍵發展。因為,隨著節點尺寸的微縮到2納米以下,封裝和堆疊技術將成為將繼續提升芯片性能的一項技術。比如,處理器大廠英特爾已經在發展使用其Foveros 3D技術為其Meteor Lake 系列處理器進行3D 芯片堆疊設計。不過,相較于英特爾,競爭對手AMD 在這方面更是早已運用。然而,到目前為止,AMD 的Zen 3 架構的處理器僅在其處理器上堆疊L3 緩存。有傳言表示,AMD 將會在Zen 4 架構的處理器上,以及所謂的Raphael-X 的系列產品中,采用3D 芯片堆疊技術。有消息顯示,AMD即將推出的RDNA3 GPU 也可能會采用。


IBM 表示,它已在美國紐約州建立了一個新的研發與測試據點,用以研究該項新新技術,而且未來它將擴大其規模。IBM 的目標就是使用該技術創建一個完整的3D 晶片堆疊。如此,這將有助于解決供應鏈問題,同時也可以提高績效。IBM 預計新技術將能幫助半導體供應鏈降低所需生產與使用的產品數量,同時也有助于未來幾年運算處理能力的提升。



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