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說一個事實:就算我們買到EUV光刻機,也制造不了7nm芯片

2023-07-06 來源:只談數(shù)碼科技
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關(guān)鍵詞: 半導(dǎo)體設(shè)備 芯片 光刻機

眾所周知,緊隨美國、日本之后,荷蘭也出臺了關(guān)于半導(dǎo)體設(shè)備/技術(shù)的禁令。


分析荷蘭的這個禁令,可以看出來,與美國之前的步調(diào)基本一致的,那就是對14nm及以下工藝的設(shè)備,全部堵住。


不過在浸潤式光刻機上,還留了一道口子,沒有全部禁止,其中NXT:1800Di這臺浸潤式光刻機,不屬于管制范圍,還是可以出口的。



而根據(jù)媒體的說法,這臺NXT:1800Di光刻機,采用的是193nm波長,38nm分辨率、1.35NA數(shù)值孔徑,在多次曝光之下,可以實現(xiàn)最高7nm的工藝,之前臺積電的第一代7nm工藝,就是基于這臺光刻機實現(xiàn)的。


于是很多網(wǎng)友表示,這樣看來,我們還是有希望馬上進入到7nm工藝的,沒有全部堵死,這可能也是荷蘭特意留給我們的一個機會了。



不過,網(wǎng)友的想法是美好的,但現(xiàn)實卻是很骨感的,對于當(dāng)前的中國芯片產(chǎn)業(yè)而言,要進入7nm工藝,并不太現(xiàn)實,別說使用這臺NXT:1800Di光刻機了,就算買到EUV光刻機,都制造不了7nm芯片。


采用NXT:1800Di光刻機需要多次曝光,目前多次曝光技術(shù)有三種,分別是LELE、LFLE、SADP,但不管哪一種,都對刻蝕、 沉積等工藝有非常高的技術(shù)要求,同時成本也要高2-3倍,明顯對我們并不適用。



更重要的是,芯片制造,并不僅僅看光刻機的精度,還需要其它設(shè)備、材料都達到先進的工藝。因為芯片從硅晶圓到成品芯片,中間需要幾十種設(shè)備,幾百道工序。


最簡單的來講,像擴散、薄膜沉積、光刻、刻蝕、離子注入、CMP拋光、金屬化等這些設(shè)備,全部要達到7nm工藝才行,還有光刻膠、靶材等,也都要支持7nm工藝。


這些設(shè)備、材料等,我們國產(chǎn)的大多還是在28nm、14nm甚至40nm,要實現(xiàn)7nm工藝,絕大部分都需要進口,但是目前先進工藝的設(shè)備/技術(shù)的進口,基本上都是被卡住的。


國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備情況


所以,不黑也不吹,靠進口的這一臺NXT:1800Di光刻機,短時間之內(nèi)是實現(xiàn)不了7nm的,甚至就算ASML放開購買,就算我們買到了EUV光刻機,不需要采用多重曝光技術(shù)來制造7nm芯片,也一樣生產(chǎn)不了7nm的芯片,因為其它設(shè)備、材料同樣的是被卡住的。


說實話,國產(chǎn)芯片要突破,我們不能將希望寄托在荷蘭放開限制,讓我們買EUV光刻機身上,而是要放在國產(chǎn)供應(yīng)鏈的突破身上。


只有國產(chǎn)供應(yīng)鏈全面突破,從光刻機到各種半導(dǎo)體設(shè)備、各種半導(dǎo)體材料,全部實現(xiàn)了7nm工藝,才是真正的無后顧之憂,否則都是假象,別人一卡就死,你覺得呢?



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