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浸潤(rùn)式光刻機(jī)之父:美國(guó)封鎖無(wú)用,中國(guó)大陸能造出5nm芯片

2023-11-01 來(lái)源:科技專(zhuān)家
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關(guān)鍵詞: 芯片 ASML 臺(tái)積電

眾所周知,美國(guó)在本月再次升級(jí)芯片禁令,將大家最關(guān)注的浸潤(rùn)式光刻機(jī),也禁了。


理論上,浸潤(rùn)式光刻機(jī),雖然也是采用193nm波長(zhǎng)的光源,但通過(guò)多重曝光之后,最高可以支持到7nm。


美國(guó)之所以禁了它,很多人猜測(cè)是被華為Mate60這款手機(jī)嚇住了,因?yàn)樵诮钪?,中?guó)居然能獨(dú)立搞出等效于7nm的芯片來(lái),這是美國(guó)不能接受的,所以轉(zhuǎn)身又將浸潤(rùn)式光刻機(jī)也禁了。



禁了浸潤(rùn)式光刻機(jī),我們的芯片產(chǎn)業(yè)怎么辦?無(wú)法再生產(chǎn)7nm芯片,再也無(wú)法進(jìn)入7nm之下了么?


近日,臺(tái)積電前研發(fā)副總,浸潤(rùn)式光刻機(jī)之父林本堅(jiān)表示,美國(guó)是無(wú)法阻止中國(guó)大陸在先進(jìn)制程芯片技術(shù)方面的進(jìn)步,中國(guó)大陸可以利用現(xiàn)有設(shè)備,推進(jìn)到5nm工藝。



其它人這樣說(shuō),可能大家覺(jué)得是在吹牛,但林本堅(jiān)這樣說(shuō),意義卻不一樣的。


他不僅是臺(tái)積電前研發(fā)副總,更是浸潤(rùn)式光刻機(jī)之父。當(dāng)初尼康、佳能、ASML均在研發(fā)光刻機(jī),大家在193nm波長(zhǎng)的光源之后,有了分歧,尼康、佳能等要改進(jìn)光源,采用154nm的,但這種光源非常不穩(wěn)定,很難搞。


而林本堅(jiān)覺(jué)得,利用水的折射原理,將193nm波長(zhǎng)光源,經(jīng)過(guò)水的折射后,就等效于134nm了,波長(zhǎng)更短,同時(shí)還直接跳過(guò)154nm這個(gè)難搞的波長(zhǎng)了。



尼康、佳能不相信他,堅(jiān)持搞自己的154nm波長(zhǎng)的光刻機(jī)。當(dāng)時(shí)ASML還是小廠,反正也生存困難,不如陪林本堅(jiān)賭一把,于是和臺(tái)積電配合,搞出浸潤(rùn)式光刻機(jī)。


最后浸潤(rùn)式光刻機(jī)非常成功,ASML占得先機(jī),因此將佳能、尼康甩在了身后,奠定了自己光刻機(jī)老大的地位,最后現(xiàn)搞出EUV光刻機(jī),佳能、尼康就徹底不是對(duì)手了。


可見(jiàn),林本堅(jiān)對(duì)光刻機(jī)技術(shù),芯片技術(shù)都是非常了解的,他認(rèn)為我們基于現(xiàn)有設(shè)備,能夠繼續(xù)改進(jìn),然后推進(jìn)到5nm,那么這很可能就會(huì)成為現(xiàn)實(shí)。



事實(shí)上,除了利用現(xiàn)有設(shè)備進(jìn)行改進(jìn),推進(jìn)到5nm之外,目前國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)也在不斷的突破,這是兩條不同的線,任何一條線的前進(jìn),都能實(shí)現(xiàn)5nm這個(gè)小目標(biāo)。


所以說(shuō),美國(guó)打壓,其實(shí)真的是沒(méi)有意義的,反而會(huì)逼著中國(guó)供應(yīng)鏈崛起,最終擺脫對(duì)國(guó)外的依賴,甚至有可能讓國(guó)外的芯片設(shè)備廠商,徹底失去中國(guó)大陸這個(gè)市場(chǎng)。


那什么時(shí)候我們能搞定5nm?就讓時(shí)間來(lái)證明了,不知道那時(shí)候,美國(guó)還有何辦法可想?是不是就得放開(kāi),然后進(jìn)行傾銷(xiāo)來(lái)打壓了?



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