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高壓快充上車趨勢加快,碳化硅成為絕佳選擇

2024-03-27 來源:賢集網
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關鍵詞: SiC器件 半導體材料 碳化硅

在電動汽車發展的初期,400V電壓平臺是主流選擇。然而,隨著消費者對續航里程和充電速度的需求不斷提升,高壓800V技術正在逐漸從幕后走到臺前,成為推動行業進步的關鍵力量。據蓋世汽車研究院統計,2024年1月,高壓800V車型滲透率達5.8%,包括比亞迪、小鵬、騰勢、極氪、方程豹等品牌都陸續推出了搭載800V高電壓平臺的車型,隨著技術的進步和成本的降低,未來有望加速快充普及和向主流市場滲透。

800V電壓平臺帶來的是充電速度的提升,SiC器件應用提高的是效率,兩者搭配應用效果更佳。然而,SiC功率器件雖然有著耐壓程度高、開關損耗低、效率高等優點,但是價格也高。在成本壓力下,當前碳化硅滲透率僅為11%,主要為特斯拉、比亞迪等B級以上的BEV車型采用,A00級仍以Si-Mosfet為主、A0和A級車以Si-IGBT為主。SiC功率器件滲透率雖然目前還處于較低水平,它所代表的技術趨勢和市場潛力卻是巨大的。



碳化硅較硅具備性能優勢,有效滿足高壓平臺零件需求

作為第三代半導體材料的代表, SiC 具有大禁帶寬度、高擊穿電場強度、高飽和漂移速度和高熱導率等優良特 性。SiC 的禁帶寬度( 2.3-3.3eV)約是 Si 的 3 倍,擊穿電場強度( 0.8 × 106/-3 × 106/) 約是 Si 的 10 倍,熱導率( 490W/(m·K))約是 Si 的 3.2 倍,可以滿足高溫、高功率、高壓、高頻等多種應用場景。

與硅基半導體材料相比,以碳化硅為代表的第三代半導體材料具有高擊穿電場、高飽和電子漂移速度、高熱導率、高抗輻射能力等特點,適合于制作高溫、高頻、抗輻射及大功率器件。

Si 材料中越是高耐壓器件,單位面積的導通電阻也越大(以耐壓值的約 2~2.5 次方的比例增加),因此 600V 以上的電壓中主要采用 IGBT。IGBT 通過電導率調制,向漂移層內注入作為少數載流子的空穴,因此導通電阻比MOSFET 還要小,但是同時由于少數載流子的積聚,在 Turn-off 時會產生尾電流,從而造成極大的開關損耗。

SiC 器件漂移層的阻抗比 Si 器件低,不需要進行電導率調制就能夠以 MOSFET 實現高耐壓和低阻抗,而且MOSFET 原理上不產生尾電流,所以用 SiC-MOSFET 替代 IGBT 時,能夠明顯地減少開關損耗,并且實現散熱部件的小型化。另外, SiC-MOSFET 能夠在 IGBT 不能工作的高頻條件下驅動,從而也可以實現無源器件的小型化。與 600V~900V 的 Si-MOSFET 相比, SiC-MOSFET 的優勢在于芯片面積小(可實現小型封裝),而且體二極管的恢復損耗非常小,主要應用于工業機器電源、高效率功率調節器的逆變器或轉換器中。

以 80kW EV 為例, ST 測算了 SiC MOSFET 與 Si IGBT+二極管方案下的牽引逆變器功率損耗。歸因于 SiC 更優的 FOM 參數性能, SiC MOSFET 在更高的結溫情況下損耗減少更多, 合計導通損耗后相比硅基方案減耗 40%。


增長動能涌現

產業發展環境良好


全球碳化硅產業高速增長,國際大廠展望積極。英飛凌預計,2024財年其碳化硅業務收入將增長50%至7.5億歐元;安森美2023年碳化硅業務收入超8億美元,預計2024年全球碳化硅市場增速為20%-30%,而其將以市場增速的2倍增長;意法半導體2023年碳化硅業務收入達11.4億美元,預計其2025年碳化硅業務收入將突破20億美元。

林科闖表示,政府對新材料產業的大力支持,以及全球市場對高性能半導體材料的需求旺盛,為國內碳化硅產業提供了良好的發展環境。

憑借出色的材料特性,碳化硅正在國內電力電子、射頻等下游應用領域加速“出圈”,滲透率不斷走高。根據第三方市場研究公司Yole預測,全球碳化硅功率器件市場規模將從2022年的17.94億美元增至2028年的89.06億美元,年均復合增長率達31%。



新能源汽車市場的持續擴大,以及800V高壓快充等新技術的推廣應用,已成為驅動碳化硅產業高速發展的關鍵動能?!疤蓟韫β势骷澳K可實現更快的充電速度、更長的續航里程以及更高的能效比?!绷挚脐J說,相較于傳統硅基器件,碳化硅功率器件及模塊具有更高的飽和電子遷移率和擊穿電壓,這意味著碳化硅功率器件及模塊能在更高的電壓和電流下工作,從而實現更高的效率。

在800V高壓狀態下,應用碳化硅功率器件電驅比同等硅基IGBT器件電驅能效增長3%-5%,碳化硅可以在高頻狀態下穩定工作,實現更快的開關頻率(約為IGBT的5倍到10倍),開關損耗降低超75%;綜合續航里程提升6%-8%。目前,碳化硅功率器件及模塊在一輛電動汽車中的價值約為1500美元至2000美元,覆蓋主驅逆變器、電動壓縮機、車載充電機等應用。

碳化硅功率器件及模塊正加速從高端產品向下滲透?!艾F在售價為20萬元以上的800V電動汽車,碳化硅功率器件滲透率約為一半,可以全驅配置,或只配置主驅。對于售價在20萬元以下的電動汽車,碳化硅功率器件滲透率快速提升,整車配置只是時間問題?!绷挚脐J說,產品的加速應用將帶來規模效應,形成成本降低、售價降低、應用進一步擴大的良性循環。

在光伏、儲能等可再生能源領域,碳化硅也正大展拳腳。業內人士表示,光伏設備的技術趨勢是提高功率,減小體積與重量,提高穩定性。從單品看,碳化硅功率器件比硅基器件要貴2倍-3倍。但從系統角度看,碳化硅功率器件的應用使得散熱器、電容電感等被動器件減小,而碳化硅功率器件低開關損耗、高頻、高壓工作的特性,也對逆變器實現光伏發電系統高效、經濟和穩定運行提供了更強保障。


關注產業降本節奏,襯底降本快于器件

從產業鏈成本構成來看,襯底降本快于器件。碳化硅的成本直接決定了滲透率,影響市場規模,因此需要密切關注產業降本節奏。襯底占碳化硅成本的比例高達47%,其次是外延,再其次是后道等環節,我們判斷襯底降本快于器件。 襯底的降本面對諸多技術難點,包括襯底生長“慢”、加工“難”、缺陷密度去除工藝壁壘“高”。碳化硅器件降本的技術路徑,從市場上的動態來看,主要包括擴大晶圓尺寸、改進碳化硅長晶及加工工藝以提高良率。碳化硅襯底制造工藝復雜技術壁壘高,生長速度“慢”。碳化硅襯底的制造對溫度和壓力的控制要求極高,碳化硅襯底的生長過程在 2300℃以上高溫和接近真空的低壓密閉高溫石墨坩堝中進行(硅材料只需要 1600 攝氏度),無法即使觀察晶體的生長狀況,隨著尺寸擴大,其生長難度呈幾何式增長,溫度和壓力的控制稍有失誤,就有可能導致碳化硅材料的微管密度、錯位密度、電阻率、翹曲度、表面粗糙度等一系列參數出現差錯,產生異質晶型,影響良率;長晶速度非常慢,傳統的硅材料只需 3 天就可以長成一根晶棒,而碳化硅晶棒需要7天,這就導致碳化硅生產效率天然地更低,產出非常受限;此外,晶型要求高、良率低,只有少數幾種晶體結構的單晶型碳化硅才可作為半導體材料。

此外,碳化硅襯底加工“難”,晶棒切割、研磨拋光等后端工藝也面臨較大困難。碳化硅性質偏硬、脆,斷裂韌性較低,切割、研磨、拋光技術難度大,工藝水平的提高需要長期的研發積累,也需要上游設備商特殊設備的配套開發。目前碳化硅切片加工技術主要包括固結、游離磨料切片、激光切割、冷分離和電火花切片;研磨拋光時容易開裂或留下損傷,這要求在切割襯底的時候需要預留更多的研磨拋損耗,這進一步降低了晶錠的出片率,同時也影響了整體的生產良率。全球碳化硅制造加工技術和產業尚未成熟,在一定程度上限制了碳化硅器件市場的發展,要充分實現碳化硅襯底的優異性能,開發提高碳化硅晶片加工技術是關鍵所在。



碳化硅缺陷密度去除工藝壁壘“高”。碳化硅單晶生長熱場存在溫度梯度,導致晶體生長過程中存在原生內應力及由此誘生的位錯、層錯等缺陷,其可靠性備受關注。在密閉高溫腔體內進行原子有序排列并完成晶體生長、同時控制微管密度、位錯密度、電阻率、翹曲度、表面粗糙度等參數指標是復雜的系統工程,涉及一系列高難度工藝調控,工藝壁壘高。正是因為這些技術難點造成了成本問題,成為碳化硅器件規?;瘧玫碾y題。目前,降本的主要途徑包括擴大晶圓尺寸、改進碳化硅長晶及加工工藝以提高良率等。

擴大晶圓尺寸是降低成本的有效手段,6 英寸是目前主流,8 英寸是未來方向。襯底尺寸越大,單位襯底可制造的芯片數量越多,單位芯片成本越低;襯底的尺寸越大,邊緣的浪費就越小,有利于進一步降低芯片的成本。根據 Wolfspeed,從6 寸轉向8 寸晶圓,碳化硅芯片數量(32mm2)有望從 448 顆增加到 845 顆,在良率為 80%、60%水平下,有效產出顆數分別為 358、507 顆,若假設單車使用同樣規格的芯片 54 顆(48 顆主逆+6 顆OBC),則一片晶圓理論可供 6.6、9.5 臺車,效率得到顯著提升。根據 GTAT 公司的預估,相對于6寸晶圓平臺,預計 8 寸襯底的引入將使整體碳化硅器件成本降低 20-35%。而且,6 寸SiC晶體厚度為350微米,而最初投放市場的 8 寸 SiC 襯底厚度為 500 微米。盡管晶體成本會略微上漲,但是由于更厚的晶體可以切出更多的襯底片,預計也有望進一步降低器件生產成本。目前導電型碳化硅襯底以 6 英寸為主,8 英寸襯底開始發展;半絕緣碳化硅襯底以4 英寸為主,目前逐漸向6英寸襯底發展。隨著尺寸的增大,碳化硅單晶擴徑技術的要求越來越高。擴徑技術需要綜合考慮熱場設計、擴徑結構設計、晶體制備工藝設計等多方面的技術控制要素,最終實現晶體迭代擴徑生長,從而獲得直徑達標的高質量籽晶,繼而實現后續大尺寸籽晶的連續生長。這也是國產廠商需要著重突破的技術難點。

改進碳化硅長晶及加工工藝以提高良率等也是降低成本的有效方式。目前國內6英寸良率約 40-50%,海外約 60-70%,較低的良率使得有效產能減少從而成本增加。長晶慢、質量低、大尺寸難度高、加工工藝不足帶來的損耗等方面都是造成良率降低的因素,目前頭部廠商正積極通過技術改進來提升良率,如 2021 年 8 月 5 日,住友官網提到了他們利用一種所謂的MPZ技術,生長了高質量、低成本的 SiC 襯底和 SiC 外延片,消除了表面缺陷和基面位錯(BPD),無缺陷區(DFA)達到 99%,相比 PVT 法,SiC 長晶速度提高了5 倍左右,相比普通的LPE法速度提升了 200 倍。但目前國內廠商的良率水平與海外廠商還存在一定差距。



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