中商情報網訊：在數字化、智能化變革的浪潮下，光刻機作為半導體產業的戰略制高點，其重要性日益凸顯。下游應用如新能源汽車、AI的指數級增長，不僅拉升了芯片需求，更倒逼光刻技術迭代，共同鑄就了其市場的長期繁榮。

一、產業鏈

光刻機產業鏈上游為材料、設備及組件，材料包括光刻膠、電子特氣、CMP拋光液、掩膜版等，設備及組件包括涂膠顯影設備、激光器、雙工件臺、光學系統、整機控制系統、整機軟件系統等；中游為光刻機，可分為有掩膜光刻機、無掩膜光刻機；下游應用于集成電路制造、先進封裝、平板顯示、功率器件制造、LED、MEMS制造等領域。

資料來源：中商產業研究院整理

二、上游分析

1.光刻膠

（1）市場規模

光刻膠應用于晶圓制造工藝的光刻環節，作為核心材料決定了工藝圖形的精密程度和產品良率，多年來一直保持穩定持續增長。中商產業研究院發布的《2025-2030全球及中國光刻膠和光刻膠輔助材料行業發展現狀調研及投資前景分析報告》顯示，2024年我國光刻膠市場規模約為80.5億元，同比增長25.39%，中商產業研究院分析師預測，2025年我國光刻膠市場規模可達97.8億元。

數據來源：中商產業研究院整理

（2）重點企業分析

光刻膠行業呈現政策驅動、技術分層突破、產業鏈協同深化三大特征。ArF/KrF等高端光刻膠國產化率突破30%，配套材料（顯影液、電子特氣）實現全鏈條自主可控。設備端高精度定位、光學元件技術填補空白，封裝與先進制程需求催生PSPI、納米分散體等創新材料。未來競爭將聚焦EUV膠研發、車規級認證壁壘及設備-材料一體化生態構建，技術迭代速度與客戶黏性成為企業護城河。

資料來源：中商產業研究院整理

2.電子特氣

（1）市場規模

中國電子特氣市場規模同樣呈現出穩步增長的趨勢。中商產業研究院發布的《2025-2030年全球及中國電子特種氣體行業前景與市場趨勢洞察專題研究報告》顯示，2023年中國電子特氣市場規模249億元，2024年市場規模約262.5億元，中商產業研究院分析師預測，隨著集成電路和顯示面板等半導體產業的快速發展，電子特氣的需求將持續增長，2025年中國電子特氣市場規模將達279億元。

數據來源：中商產業研究院整理

（2）企業布局情況

中國電子特氣行業形成差異化格局，核心特點有三：技術聚焦光刻氣、高純摻雜氣體等高端制程突破，國產化進程在半導體制造、光伏及面板領域加速替代進口并打入全球供應鏈，產能布局向含氟特氣全球領先和軍民融合等多領域協同拓展，呈現“高端突破-國產替代-多場景支撐”的一體化發展體系。

數據來源：中商產業研究院整理

3.激光器

（1）市場規模

激光器是一種能發射激光的裝置器件，是激光顯示系統中最為核心的部件。中商產業研究院發布的《2025-2030年中國激光器市場前景及投資機會研究報告》顯示，2023年中國激光器市場規模達到1210億元，同比增長16.68%，2024年約為1353億元。中商產業研究院分析師預測，2025年中國激光器市場規模將達1450億元。

數據來源：中商產業研究院整理

（2）企業布局情況

激光器企業正處于快速發展階段，市場競爭激烈，技術創新活躍，同時受到政策支持的推動。國內激光器企業數量眾多，分布集中，具有較強的研發能力和生產實力，部分國內企業已經具備與國際知名品牌競爭的實力，并在某些領域實現了超越。

資料來源：中商產業研究院整理

三、中游分析

1.全球市場規模

近年來，受到芯片需求增長的影響，光刻機市場規模穩步增長。中商產業研究院發布的《2025-2030年中國光刻機市場調查與行業前景預測專題研究報告》顯示，2024年全球光刻機市場規模達315億美元，同比增長16.2%。中商產業研究院分析師預測，2025年將繼續增長至350億美元。

數據來源：中商產業研究院整理

2.全球光刻機出貨量

中商產業研究院發布的《2025-2030年中國光刻機市場調查與行業前景預測專題研究報告》顯示，2024年，ASML、Nikon、Canon的集成電路用光刻機出貨達683臺，較2023年的681臺增加2臺，基本持平；銷售金額約在264億美元，2023年銷售金額約269億美元，銷售額基本持平。

數據來源：中商產業研究院整理

3.市場結構

目前，全球光刻機銷量仍以中低端產品(KrF、i-Line)為主，占比分別為37.9%和33.6%；其次分別為ArFi、ArF dry、EUV，占比分別為15.4%、5.8%及7.3%。其中，EUV是全球光刻機的重要發展方向之一，其價格遠高于其他種類的光刻機。

數據來源：中商產業研究院整理

4.競爭格局

目前全球光刻機市場被三家企業占據，其中，荷蘭ASML掌握了全球光刻機市場62%的份額，排名第一。佳能排名第二占31%，尼康排名第三占7%。

資料來源：中商產業研究院整理

5.企業潛力排行

當前光刻機行業在國產替代與技術突破的雙重驅動下加速整合，頭部企業通過核心部件研發與產業鏈協同構建差異化優勢。光刻機整機、光學系統、掩膜版及配套材料成為關鍵競爭領域，而高精度運動控制與檢測技術的突破進一步縮小與國際差距。未來，隨著政策支持與資本投入加大，具備全鏈條技術整合能力的企業將在全球半導體設備市場中占據更重要的戰略地位。

資料來源：中商產業研究院整理

6.相關上市企業分析

中國目前尚未有企業能夠自主生產光刻機?，但部分企業在相關領域取得進展。A股相關光刻機上市企業中，江蘇省分布最多，共12家。廣東省和浙江省均為6家，并列第二。

資料來源：中商產業研究院整理

7.企業熱力分布圖

資料來源：中商產業研究院整理

四、下游分析

1.集成電路

中國集成電路產業在全球市場中占據重要地位，已成為全球最大的集成電路消費市場之一。中國注重減少對國外半導體技術的依賴，加強國內生產能力，進一步加速了市場的增長。中商產業研究院發布的《2025-2030年中國集成電路行業發展趨勢與投資格局研究報告》顯示，中國集成電路市場規模從2020年的0.88萬億元增至2024年的1.45萬億元，期間復合年增長率達到13.3%。中商產業研究院分析師預測，2025年中國集成電路市場規模將達到1.69萬億元。

數據來源：中商產業研究院整理

2.先進封裝

隨著終端應用對芯片性能、功耗、體積等要求的提高，摩爾定律正逼近物理和經濟極限。后摩爾時代，需要通過先進封裝技術在封裝環節提高集成度，實現性能和功耗的突破，先進封裝將成為集成電路封測行業的主流。中商產業研究院發布的《2025-2030年中國封裝測試行業深度分析及發展趨勢研究預測報告》顯示，2024年中國大陸先進封裝行業市場規模達到513.5億元。中商產業研究院分析師預測，2025年中國先進封裝行業市場規模將達到609.9億元。

數據來源：中商產業研究院整理

3.平板顯示

近年來，我國大力發展新型顯示產業，新型顯示市場規模居全球首位。中商產業研究院發布的《2025-2030年中國新型顯示產業市場調研及行業投資格局預測報告》顯示，2023年中國新型顯示全產業鏈市場規模約為6600億元，占全球市場規模的50%左右。中商產業研究院分析師預測，2025年中國新型顯示全產業鏈市場規模將達到7200億元。

數據來源：中國光學光電子行業協會、中商產業研究院整理