7月13日，上海精測(cè)半導(dǎo)體技術(shù)有限公司（下稱“上海精測(cè)”）通過微信公眾號(hào)宣布，國(guó)內(nèi)首臺(tái)12寸獨(dú)立式光學(xué)線寬測(cè)量設(shè)備（OCD）與國(guó)內(nèi)唯一12寸全自動(dòng)電子束晶圓缺陷復(fù)查設(shè)備（ReviewSEM）順利出機(jī)。

上海精測(cè)母公司精測(cè)電子（300567.SZ）同日披露的調(diào)研紀(jì)要顯示，上述兩臺(tái)半導(dǎo)體設(shè)備的客戶為中芯國(guó)際。“設(shè)備是已經(jīng)可以投入使用了”，精測(cè)電子內(nèi)部人士今日對(duì)記者表示。

據(jù)了解，OCD設(shè)備除具有全自動(dòng)光學(xué)膜厚測(cè)量能力外，還可以進(jìn)行顯影后檢查（ADI）、刻蝕后檢查（AEI）等多種工藝段的二維或三維樣品的線寬、側(cè)壁角度（SWA）、高度/深度等關(guān)鍵尺寸（CD）特征或整體形貌測(cè)量，具有高速、準(zhǔn)確和非破壞性等特點(diǎn)，是半導(dǎo)體前道檢測(cè)的關(guān)鍵設(shè)備之一。

精測(cè)電子副總經(jīng)理、上海精測(cè)總經(jīng)理馬駿在出機(jī)儀式上介紹，OCD量測(cè)設(shè)備的市場(chǎng)一直為美資公司壟斷，上海精測(cè)本次出貨機(jī)臺(tái)名稱為300FDProfile，是該類型機(jī)臺(tái)的國(guó)內(nèi)首臺(tái)，主要應(yīng)用于55nm及以下的快速線寬測(cè)量。

而ReviewSEM則是上海精測(cè)的另一重要設(shè)備產(chǎn)品，該設(shè)備的交付也使得公司成為目前全球成功開發(fā)該設(shè)備的唯一非美系廠商。

據(jù)媒體報(bào)道，上海精測(cè)此次交付的兩臺(tái)前道量測(cè)檢測(cè)設(shè)備，該設(shè)備從零部件到整機(jī)設(shè)計(jì)制造，均具有完全自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)。中芯國(guó)際（北京）良率提升工程部總監(jiān)翟冬梅對(duì)此表示，“填補(bǔ)了國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈在該領(lǐng)域的空白”。

上海精測(cè)成立于2018年，主要聚焦半導(dǎo)體前道檢測(cè)設(shè)備領(lǐng)域，公司現(xiàn)已形成了膜厚/OCD量測(cè)設(shè)備、電子束量測(cè)設(shè)備、泛半導(dǎo)體設(shè)備三大產(chǎn)品系列。

在客戶導(dǎo)入方面，上述調(diào)研紀(jì)要透露，目前，上海精測(cè)膜厚產(chǎn)品（含獨(dú)立式膜厚設(shè)備）已取得國(guó)內(nèi)一線客戶的批量重復(fù)訂單、OCD量測(cè)設(shè)備已取得訂單并已實(shí)現(xiàn)交付，半導(dǎo)體電子束檢測(cè)設(shè)備eViewTM全自動(dòng)晶圓缺陷復(fù)查設(shè)備已正式交付國(guó)內(nèi)客戶。其余儲(chǔ)備的產(chǎn)品目前正處于研發(fā)、認(rèn)證以及拓展的過程中。

“公司之前也披露過有哪些客戶，比如有長(zhǎng)江存儲(chǔ)、廣州粵芯等，部分產(chǎn)品已經(jīng)出貨了”，精測(cè)電子內(nèi)部人士講到。

由于半導(dǎo)體設(shè)備研發(fā)投入大，同時(shí)產(chǎn)品驗(yàn)證周期長(zhǎng)，上海精測(cè)2020年實(shí)現(xiàn)營(yíng)收5674萬元，但虧損9688萬元。

不過上海精測(cè)并不缺乏資金的支持。

天眼查顯示，精測(cè)電子持有上海精測(cè)40%股權(quán)，另外精測(cè)電子的孫公司上海精圓管理咨詢合伙企業(yè)（有限合伙）持有上海精測(cè)13.3%的股權(quán)。國(guó)家大基金持有13.33%的股權(quán)，上海半導(dǎo)體裝備材料產(chǎn)業(yè)投資基金合伙企業(yè)持有6.67%的股權(quán)，后者的股權(quán)結(jié)構(gòu)中，國(guó)家大基金和國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體離子注入機(jī)廠商萬業(yè)企業(yè)各持股近20%。

此外，為進(jìn)一步推動(dòng)上海精測(cè)發(fā)展，擴(kuò)大生產(chǎn)能力，以滿足下游需求，精測(cè)電子于今年4月完成定增，共募資14.93億元，其中擬投入7.4億元的募集資金用于上海精測(cè)研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化建設(shè)項(xiàng)目。

對(duì)于精測(cè)電子而言，公司除了在半導(dǎo)體檢測(cè)前道領(lǐng)域布局外，其同時(shí)也在后道全領(lǐng)域的布局，包括與韓國(guó)IT&T合資設(shè)立的武漢精鴻主要聚焦自動(dòng)檢測(cè)設(shè)備（ATE）領(lǐng)域（主要產(chǎn)品是存儲(chǔ)芯片測(cè)試設(shè)備）、另外公司的子公司W(wǎng)INTEST以及其在武漢的全資子公司偉恩測(cè)試現(xiàn)階段主要聚焦驅(qū)動(dòng)芯片測(cè)試設(shè)備領(lǐng)域。

精測(cè)電子在調(diào)研紀(jì)要中稱，公司預(yù)計(jì)2021年在半導(dǎo)體的部分產(chǎn)品線實(shí)現(xiàn)扭虧，但整體半導(dǎo)體業(yè)務(wù)實(shí)現(xiàn)盈利仍需要更多時(shí)間和努力。

“公司半導(dǎo)體業(yè)務(wù)已經(jīng)形成獨(dú)立的業(yè)務(wù)板塊，但其對(duì)營(yíng)收和業(yè)績(jī)的貢獻(xiàn)還是沒有面板業(yè)務(wù)貢獻(xiàn)大，公司這兩年的戰(zhàn)略規(guī)劃也是希望半導(dǎo)體板塊盡快扭虧為盈，使其形成對(duì)業(yè)績(jī)的貢獻(xiàn)”，公司內(nèi)部人士進(jìn)一步向記者表示。