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ASML真的慌!佳能繞開EUV,5nmNIL光刻機出貨,可惜不賣給中國

2023-10-16 來源:科技專家
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關鍵詞: 光刻機 中芯國際 EUV

眾所周知,在芯片光刻機領域,有4大廠商,分別是ASML、佳能、尼康、上海微電子。


其中ASML占了85%+的份額,佳能、尼康合計占了15%左右的份額,至于上海微電子,其實就是打醬油而已,份額接近于0%。


當然,最重要的是,用于7nm以下的EUV光刻機,只有ASML能生產,份額占了100%。



為了壟斷EUV光刻機,ASML與全球5000多家廠商達成合作,將一些關鍵技術/公司,買的買,捆綁的捆綁,讓這些核心技術,無法向其它廠商供應,所以ASML在EUV領域,連不擔心其它廠商有突破。


這也導致其它光刻機廠商,走不通EUV光刻機這條路,只能換道,比如佳能換道NIL納米壓印技術方向,俄羅斯押X射線方向,美國一些廠商,則押BLE電子束方向,歐洲一些廠商押注DSA自生長方向。



而近日,終于傳出了重磅消息,那就是佳能的NIL光刻機有了重大突破,佳能(Canon)公司發布新聞稿稱,正式開始銷售芯片生產設備 FPA-1200NZ2C,這種光刻設備,采用的是NIL納米壓印技術,可以制造 5 nm 芯片。


而這也是全球第一款不使用EUV技術,就能夠規模制造5nm芯片的光刻技術,據稱設備成本,以及制造芯片的成本,遠比EUV光刻技術低很多。



納米壓印的原因,就像印刷書本一樣,先刻一個電路板的章子,然后再印到硅晶圓上,目前這套設備,可以應用于最小 14 平方毫米的硅晶圓,從而可以生產相當于 5nm 工藝的芯片。


佳能表示,未來NIL可以實現2nm芯片的制造,不再需要EUV光刻機。


而關于NIL納米壓印,之前SK 海力士和鎧俠等存儲芯片制造商曾嘗試過使用,不過當時的精度是15nm以上,且當時效果不太好,良率低。



不知道這次佳能的新設備如何?很明顯,如果佳能的NIL光刻機,真的能夠達到5nm,且率良不錯,那絕對可以打破ASML在EUV光刻機上的壟斷,大家進入5nm時,不一定非得買ASML的設備了。


不過,大家要注意的是,佳能是不可能將這設備賣給中國大陸的,畢竟日本有針對中國芯片的禁令,14nm以下的設備,不能賣的,所以我們還得自研,日本廠商也一樣靠不住。



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