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臺積電鎖定12英寸碳化硅新戰場,布局AI時代散熱關鍵材料

2025-09-18 來源:科技新報
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關鍵詞: 臺積電 碳化硅(SiC)單晶基板 氮化鎵(GaN) 芯片熱管理

全球半導體產業邁入人工智能(AI)與高性能計算(HPC)驅動的新時代,散熱管理正逐漸成為影響芯片設計與制程能否突破的內核瓶頸。當3D堆棧、2.5D集成等先進封裝架構持續推升芯片密度與功耗,傳統陶瓷基板已難以滿足熱通量需求。晶圓代工龍頭臺積電正以一項大膽的材料轉向回應這一挑戰,那就是全面擁抱12英寸碳化硅(SiC)單晶基板,并逐步退出氮化鎵(GaN)業務。此舉不僅象征臺積電在材料戰略recalibration,更顯示散熱管理已經從“輔助技術”升格為“競爭優勢”的關鍵。

碳化硅以寬能隙半導體聞名,過去主要用于高效率電力電子器件,如電動車逆變器、工業馬達控制與新能源基礎設施。然而,SiC的潛力不止于此,優異熱導率可達約500W/mK,遠高于常見陶瓷基板如氧化鋁(Al?O?)或藍寶石(Sapphire)。

AI加速器、數據中心處理器及AR智能眼鏡等高密度應用逐步落地,散熱空間受限問題日益嚴峻。尤其是在穿戴式設備中,微型芯片組件貼近眼睛,若無精確的熱控將影響安全與穩定性。這使得臺積電憑借長年在12英寸晶圓制程的經驗,正推動以大尺寸單晶SiC取代傳統陶瓷基板。這意味著不必重建制造體系,即能在既有產線導入新材料,兼顧良率與成本優勢。

雖然,用于散熱管理的SiC基板不需達到功率組件那般嚴苛的電性缺陷標準,但晶體完整性依舊至關重要。許多外在因素不僅會干擾聲子傳導,削弱熱導率,還可能造成局部過熱,進而影響機械強度與表面平整度。對12英寸大尺寸晶圓而言,翹曲與變形更是關鍵課題,因其直接影響芯片貼合與先進封裝的良率。因此,業界焦點已從“消除電性缺陷”轉向“確保體密度均勻、低孔隙率與高表面平整度”,這些條件被視為高良率量產SiC散熱基板的前提。

報道表示,SiC結合了高熱導率、強機械性與抗熱沖擊性,在2.5D與3D封裝架構中展現出獨特優勢。包括在2.5D集成方面,芯片并排架設于硅或有機中介層上,信號連接短且高效,散熱挑戰主要在水平方向上。另外,在3D集成方面,芯片通過硅通孔(TSV)或混合鍵合垂直堆棧,連接密度極高,但散熱壓力也隨之倍增。因此,SiC除了能作為被動散熱材料,亦可搭配鉆石、液態金屬等先進散熱方案,構成“混合式冷卻”解決方案。

日前臺積電宣布,預計于2027年前逐步退出氮化鎵(GaN)業務,將資源轉投SiC領域。此舉顯示公司對市場與材料策略的重新評估。因為相比GaN在高頻應用優勢,SiC在熱管理的全面性與可擴展性更符合臺積電的長遠布局。12英寸大尺寸化,不僅可降低單位成本,還能提升制程均勻性。盡管SiC在切片、拋光與平坦化上仍面臨挑戰,但臺積電的既有設備與封裝工藝能力,使其有望克服障礙,加速量產落地。

事實上,過去SiC幾乎與電動車功率組件劃上等號。然而,臺積電正推動SiC跨入新應用,例如導電型N型SiC作為散熱基板,在高性能處理器、AI加速器中承擔熱擴散角色。或者半絕緣型SiC為中介層(Interposer),以在芯片分割與Chiplet設計,提供電性隔離與熱傳導兼顧的解決方案。這些新路徑,意味著SiC不再只是“電力電子的代名詞”,而是將成為AI與數據中心“芯片熱管理骨干”的基石材料。

高端材料領域,鉆石與石墨烯雖擁有極高熱導率(鉆石可達1,000~2,200W/mK,單層石墨烯更高達3,000~5,000W/mK),但其高昂成本與制程規模化困難,使其難以成為主流。液態金屬、導電凝膠與微流體冷卻等替代方案雖有潛力,但在集成性與量產成本上亦存挑戰。相較之下,SiC以“性能、機械強度與可量產性兼具”的特點,展現出最具實際性的折衷方案。

因此,臺積電在12英寸晶圓制造上的深厚經驗,使其有別于其他競爭者。不僅能以既有基礎加速SiC平臺建構,還能憑借高度制程控制能力,快速將材料優勢轉化為系統級散熱方案。與此同時,英特爾推動背面供電(Backside Power Delivery)與熱─功率協同設計,顯示全球龍頭廠商皆已將散熱視為內核競爭力。




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